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液體顆粒計數(shù)器檢測電子級強(qiáng)酸強(qiáng)堿

更新時間:2024-03-28   點(diǎn)擊次數(shù):1419次

1、單酸堿:硫酸、氨水、雙氧水、磷酸、硝酸、鹽酸、冰醋酸、氫氧化鉀、氫氧化鈉等。

2、作用:電子級強(qiáng)酸強(qiáng)堿多應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗,表面處理中。

3、SEMI等級標(biāo)準(zhǔn):電子化學(xué)品的判定通常采用電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表

                    電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表

SEMI等級

IC線寬

金屬雜質(zhì)

控制粒徑

顆粒(個/mL)

C1

1.2

≤1000(1ppm)

≤1.0

≤25

C7

0.8~1.2

≤10(10ppb)

≤0.5

≤25

C8

0.2~0.6

≤1.0(1ppb)

≤0.5

≤3

C12

0.09~0.2

≤0.1(0.1ppb)

≤0.2



4、判定儀器和液樣:

使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器,防腐型,檢測范圍0.1-1.0um,檢測粒徑0.1、0.2、0.5、1.0um。

液樣:硫酸、氫氧化鈉

5、檢測結(jié)論:

看檢測結(jié)果里的積分值,看≥0.1的粒子數(shù)量,≥0.2的粒子數(shù)量,≥0.5的粒子數(shù)量。參照數(shù)量的個數(shù)來判定所測樣品達(dá)到那個級別的。

應(yīng)用:化學(xué)品生產(chǎn)商一般在實(shí)驗(yàn)室使用離線取樣檢測的方式。抽取產(chǎn)線上數(shù)個液樣,按照批次來進(jìn)行檢測。反應(yīng)所生產(chǎn)液樣的工藝是否達(dá)標(biāo)。

6、注意事項(xiàng):

確保儀器的準(zhǔn)確性:在使用前應(yīng)對儀器進(jìn)行校準(zhǔn),以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的顆粒進(jìn)入檢測液樣;在百級清潔環(huán)境里進(jìn)行檢測,避免空氣中的大顆粒進(jìn)入檢測液樣。


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